原创力文档- 10
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- 2023-06-03 发布于四川
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本发明公开了晶圆背洗吸附装置，包括支撑环和圆环板，在固定槽支撑环中心设置电机防水保护罩；在固定槽支撑环与固定槽电机防水保护罩之间设置多组连接臂；在固定槽支撑环与每个固定槽连接臂的连接处设置一真空嘴，固定槽真空嘴和固定槽连接臂之间连通形成真空通道，且固定槽真空嘴向上凸出于固定槽支撑环，用于对放置于固定槽真空嘴上方的晶圆方片进行吸附。本发明可使晶圆背部中心不被遮挡，进行背洗作业，实现晶圆背部清洗，并且能够对晶圆进行一定范围内移动，从而能够实现对真空嘴的真空吸附点位进行二次背洗，从而真正意义实现晶圆背
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115513117 A
(43)申请公布日 2022.12.23
(21)申请号 202211466619.2
(22)申请日 2022.11.22
(71)申请人 芯达半导体设备（苏州）有限公司
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