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本申请案的实施例涉及肖特基二极管。一种方法包含在半导体衬底(110)中形成第一沟槽和第二沟槽(112、122)。所述方法另外包含用多晶硅(116、126)填充所述第一沟槽和所述第二沟槽。所述多晶硅(116、126)与所述半导体衬底(110)相反地经掺杂。肖特基触点(142)形成于所述半导体衬底(110)上所述第一沟槽和所述第二沟槽(112、122)之间。所述方法还包含形成用于所述肖特基触点(142)的阳极电极(150)。所述阳极电极(150)耦合到所述第一沟槽和所述第二沟槽(112、122)中的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112635319 A
(43)申请公布日 2021.04.09
(21)申请号 202011017839.8
(22)申请日 2020.09.24
(30)优先权数据
16/581,04
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