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一种基于激光辐照的DLC‑纳米金刚石复合涂层制备方法,包括:对纳米金刚石涂层表面进行预处理;将飞秒激光光束聚焦在预处理后的纳米金刚石涂层表面晶粒顶端,进行飞秒激光刻蚀扫描处理,将纳米金刚石涂层表层纳米金刚石团簇原位诱变为类金刚石;3)对类金刚石‑纳米金刚石复合涂层进行后处理。本发明不仅能够在纳米金刚石涂层表面制备类金刚石薄膜,同时大幅改善类金刚石‑纳米金刚石复合涂层的表面粗糙度,具有显著增益效果。本发明获得的类金刚石‑纳米金刚石复合涂层的表面粗糙度大幅降低,在摩擦过程中可显著降低摩擦副的摩擦系数
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112647063 B
(45)授权公告日 2022.06.07
(21)申请号 202011372926.5 C23C 16/27 (2006.01)
(22)申请日 2020.11
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