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一种非金属元素掺杂硅氧负极材料及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-03 发布于四川
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一种非金属元素掺杂硅氧负极材料及其制备方法.pdf

    本发明涉及一种非金属元素掺杂硅氧负极材料及其制备方法，所述制备方法包括：将二氧化硅粉末和硅粉末的混合物置于蒸发镀膜设备的第一腔室内，将氮源和磷源的混合物置于蒸发镀膜设备的第二腔室内；在惰性气体气氛以及设定的腔室压力条件下，控制第一腔室的温度升温和第二腔室的温度升温达到设定蒸发温度，并在蒸发过程的总时间内分别控制所述第一腔室和所述第二腔室的阀门开关时间，从而在通过阀门与第一腔室和所述第二腔室分别连通的收集腔的基底表面上沉积氮磷掺杂的硅氧化物；蒸发过程的总时间为3‑12小时；收集氮磷掺杂的硅氧化物并

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112652769 B (45)授权公告日 2022.03.18 (21)申请号 202011523065.6 (51)Int.Cl.

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