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- 2023-06-03 发布于四川
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本发明公开了一种外延制程尾气全温程变压吸附提取硅烷的方法，通过预处理、压缩冷凝、中温变压吸附浓缩、中浅冷精馏、硅烷精制与HCl水洗工序，从基于Si、SiC或蓝宝石衬底上进行含氯或不含氯的同质或异质CVD外延制程尾气中高纯度、高收率的提纯回收有效组分硅烷，并返回到CVD外延制程中循环使用，同时可副产盐酸，既实现尾气中有效组分的回收再利用，又减少了尾气排放，弥补了外延制程尾气回收与提纯SiH4技术的空白。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112645335 A
(43)申请公布日 2021.04.13
(21)申请号 202011537627.2
(22)申请日 2020.12.23
(71)申请人 浙江天采云集科技股份有限公司
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