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一种由松香酸合成的磺酸锍盐类光产酸剂及其合成方法.pdfVIP

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  • 2023-06-03 发布于四川
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一种由松香酸合成的磺酸锍盐类光产酸剂及其合成方法.pdf

    本发明公开了一种由松香酸合成的磺酸锍盐类光产酸剂，涉及光产酸剂领域，一种由松香酸合成的磺酸锍盐类光产酸剂，其结构式为：其中，R1为以及其它含氧的连接基团，R2为氟代烷基。光产酸剂可以降低光产酸剂的扩散，改善边缘粗糙度，减小线宽粗糙度，提高分辨率；在193nm下更具透明性，有利于193nm光源下的曝光；具有优良的耐刻蚀性能；亲水亲油平衡，既具有合适的粘附力，又具有优秀的溶解性，溶解更加均匀，并且合成路线简单。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112645849 A (43)申请公布日 2021.04.13 (21)申请号 202011541791.0 (22)申请日 2020.12.23 (71)申请人 上海博栋化学科技有限公司

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