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提供了用于制造紧邻的良好控制的固态纳米孔及所述纳米孔的阵列的方法。在一个实施方式中，将多个井及一个或多个通道形成于基板中。井中的每一者均与通道相邻。每个井的侧壁的一部分均被暴露。暴露侧壁的该部分最接近相邻的该通道。每个井的暴露侧壁的该部分均被朝向相邻的通道侧向蚀刻。形成将所述井连接到相邻通道的纳米孔。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112639466 A
(43)申请公布日 2021.04.09
(21)申请号 201980056889.6 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理
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