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本公开的复合基板是压电基板与蓝宝石基板被直接接合的复合基板，在所述蓝宝石基板的接合面具有台阶群构造。本公开的压电元件具备所述复合基板。本公开的复合基板的制造方法具备：准备工序，准备压电基板、以及具备相对于特定的结晶面而具有规定的偏离角的表面的蓝宝石基板；热处理工序，在氧化环境中对所述蓝宝石基板进行热处理，从而在该蓝宝石基板的所述表面形成台阶群；以及接合工序，将所述压电基板与所述蓝宝石基板的所述表面直接接合。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112640303 A
(43)申请公布日 2021.04.09
(21)申请号 201980057046.8 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任
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