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感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件.pdfVIP

感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件.pdf

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    本发明提供一种发挥优异的环化率且保存稳定性也优异的感光性树脂组合物。并且，提供一种利用了上述感光性树脂组合物的固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件。感光性树脂组合物含有特定的热产碱剂和含杂环聚合物的前体，特定的热产碱剂具有羟基与酰胺结构(‑C(＝O)‑N＝)通过烃基L而连接的结构，L在L中的连接链的路径上具有饱和烃基，且连接链的路径上的原子数为3以上。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112639616 A (43)申请公布日 2021.04.09 (21)申请号 201980057053.8 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任

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