- 1、本文档共11页,其中可免费阅读10页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请涉及半导体集成电路制造领域,具体涉及电容极板接触孔的刻蚀方法,包括:提供带有电容结构的集成电路器件;通过光刻定义出上、下极板接触孔图案;进行初步刻蚀,形成的上极板接触孔的孔底与上极板之间剩余有第一厚度的介质层;通过刻蚀气体,对初步刻蚀后的所述集成电路器件进行等离子刻蚀,刻蚀去除第一厚度的介质层,使得所述刻蚀气体在所述集成电路器件外露的表面上发生聚合反应,形成聚合物;进行进一步刻蚀,刻蚀去除剩余在下极板接触孔孔底与下极板之间的第二厚度的介质层,使得下极板接触孔的孔底与下极板接触。本申请提供的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112635669 A
(43)申请公布日 2021.04.09
(21)申请号 202011462812.X
(22)申请日 2020.12.14
(71)申请人 华虹半导体(无锡)有限公司
您可能关注的文档
- 一种基于FPGA的双馈风机的建模方法及其系统.pdf
- 一种多面体螺旋通道液体制冷用热交换器.pdf
- 一种通证转换为上市公司的股票的方法和系统.pdf
- 一种具有涂胶功能的玻璃布层压板裁剪装置.pdf
- 一种龙门升降式工业机器人.pdf
- 一种视频预测编码的方法及装置.pdf
- 一种金属器材冲压设备.pdf
- 流式数据分发方法和系统.pdf
- 受激自致冷低温冰盐袋.pdf
- 一种多功能废旧塑料破碎回收设备及其回收方法.pdf
- 2024年江西省寻乌县九上数学开学复习检测模拟试题【含答案】.doc
- 2024年江西省省宜春市袁州区数学九上开学学业水平测试模拟试题【含答案】.doc
- 《GB/T 44275.2-2024工业自动化系统与集成 开放技术字典及其在主数据中的应用 第2部分:术语》.pdf
- 中国国家标准 GB/T 44275.2-2024工业自动化系统与集成 开放技术字典及其在主数据中的应用 第2部分:术语.pdf
- GB/T 44285.1-2024卡及身份识别安全设备 通过移动设备进行身份管理的构件 第1部分:移动电子身份系统的通用系统架构.pdf
- 《GB/T 44285.1-2024卡及身份识别安全设备 通过移动设备进行身份管理的构件 第1部分:移动电子身份系统的通用系统架构》.pdf
- 中国国家标准 GB/T 44285.1-2024卡及身份识别安全设备 通过移动设备进行身份管理的构件 第1部分:移动电子身份系统的通用系统架构.pdf
- GB/T 44275.11-2024工业自动化系统与集成 开放技术字典及其在主数据中的应用 第11部分:术语制定指南.pdf
- 中国国家标准 GB/T 44275.11-2024工业自动化系统与集成 开放技术字典及其在主数据中的应用 第11部分:术语制定指南.pdf
- 《GB/T 44275.11-2024工业自动化系统与集成 开放技术字典及其在主数据中的应用 第11部分:术语制定指南》.pdf
文档评论(0)