一种薄膜渗透测试的腔体结构、设备及方法.pdfVIP

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  • 2023-06-03 发布于四川
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一种薄膜渗透测试的腔体结构、设备及方法.pdf

本公开提供了一种薄膜渗透测试的腔体结构、设备及方法,所述腔体结构包括测试腔体;测试腔体的开口一侧开有用于与试样相对的凹槽,测试腔体开有与凹槽连通的抽气端口,测试腔体还开有分别与测试腔体的内腔连通的载气进气端口和载气出气端口;本公开可以检测出测试腔体间是否放置试样,有效的避免了无效的试验和传感器的损坏;实现了无上腔测试,在进行批量测试时能够保证温湿度的一致性,实现更精确的批量测试,提高了测试精度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112649343 A (43)申请公布日 2021.04.13 (21)申请号 202011531572.4 (22)申请日 2020.12.22 (71)申请人 济南兰光机电技术有限公司

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