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一种用于X射线聚焦镜的镜片误差检测方法.pdfVIP

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  • 2023-06-03 发布于四川
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一种用于X射线聚焦镜的镜片误差检测方法.pdf

    本发明涉及X射线聚焦镜装调方法，具体涉及一种用于X射线聚焦镜的镜片误差检测方法，解决了现有技术中无法分辨X射线聚焦镜装调过程中镜片的误差类型及误差位置的技术问题。本发明通过对离焦光斑图像在不同方位角位置的环宽数据特性的分析确定误差类型，并根据离焦光斑图像确定产生误差的位置，可简单有效地判定X射线聚焦镜在装调过程中的姿态及面型误差位置，在以前的X射线光学系统中从未采用，适用于大遮拦比光学系统的装调角度和本征面型误差判定。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115773863 A (43)申请公布日 2023.03.10 (21)申请号 202211529122.0 (22)申请日 2022.11.30 (71)申请人 中国科学院西安光学精密机械研究

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