用于提拉半导体材料的单晶的设备和方法.pdfVIP

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2023-06-03 发布于四川
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用于提拉半导体材料的单晶的设备和方法.pdf

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本发明提供用于从包含在坩埚(8)中的熔体(7)提拉半导体材料的单晶(1)的设备，该设备具有用于旋转提拉轴(14)的装置(20)且具有用于旋转坩埚轴(13)的装置(21)，其特征在于，在驱动器(22)和提拉轴(14)之间的成双蜗轮蜗杆传动装置以及在另一驱动器(31)和坩埚轴(13)之间的另一成双蜗轮蜗杆传动装置。本发明还提供使用该设备提拉半导体材料的单晶的方法。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112647123 A (43)申请公布日 2021.04.13 (21)申请号 202011059658.1 (22)申请日 2020.09.30 (30)优先权数据 102019215