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- 2023-06-03 发布于四川
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本发明涉及一种浸液供给系统及浸没流场初始建立方法。本发明第一流路包括浸液纯化组件，浸液纯化组件能够提高浸液的纯净度；第二流路包括供液阀，供液阀控制是否向浸液供给回收装置供给浸液；第三流路包括旁路阀，旁路阀控制第三流路的通断；还包括浸液流动调节组件，能够使浸液的流动参数趋向于曝光要求范围。本发明能够使浸液的纯净度和流动参数趋近于光刻机的曝光要求范围；减少浸液中污染物对浸液供给系统中部件的污染；避免污染物进入浸没流场甚至附着在浸没流场的壁面上，加快浸没流场的初始建立过程，提高浸没流场的初始建立过程的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112650030 A
(43)申请公布日 2021.04.13
(21)申请号 202011563551.0
(22)申请日 2020.12.25
(71)申请人 浙江启尔机电技术有限公司
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