原创力文档- 3
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- 2023-06-03 发布于四川
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本发明涉及浸液供给装置、光刻系统和浸液品质监测方法。本发明涉及的浸液供给装置设置采样接口，用于采集浸液供给装置生产的浸液并对浸液样本进行浸液品质参数检测；对于因体积、操作方式、集成装配可行性、工作环境要求以及成本等原因不便于在浸液供给装置内部进行检测的浸液品质参数，采用采集浸液样本进行离线检测的方式监测浸液供给装置的性能状态；可以在浸液供给装置内部设置电阻率表等易于集成的仪表用于实施监测浸液品质；可以利用采样接口和采样装置持续收集浸液样本，用于定期检测浸液供给装置生产的浸液的品质参数，以评价浸液
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112650031 A
(43)申请公布日 2021.04.13
(21)申请号 202011563642.4
(22)申请日 2020.12.25
(71)申请人 浙江启尔机电技术有限公司
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