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一种电镀装置.pdfVIP

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  • 2023-06-03 发布于四川
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一种电镀装置.pdf

    本发明公开了一种电镀装置。该电镀装置包括：M个电镀铜槽，每个电镀铜槽包括平行于第一方向且间隔设置的感应区和电极区，感应区在第二方向设置有S个间隔设置的过渡阴极，电极区在第二方向设置有S个间隔设置的分阴极，在第一方向上，一过渡阴极和一分阴极绝缘且间隔设置，M的取值包括大于或等于2的整数，S的取值包括大于或等于1的整数。本发明实施例提供的技术方案使得电镀工件在分阴极、过渡阴极和下一段分阴极之间过渡时，电镀工件上电流恒定，避免因电流波动导致电镀工件上出现电镀分界线，造成品质异常。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115505996 A (43)申请公布日 2022.12.23 (21)申请号 202211373203.6 (22)申请日 2022.11.04 (71)申请人 昆山东威科技股份有限公司 地址 2

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