一种DFB激光器外延片的制造方法.pdfVIP

下载本文档

8
0
约1.21万字
约 11页
2023-06-03 发布于四川
举报
版权申诉

一种DFB激光器外延片的制造方法.pdf

1、本文档共11页，其中可免费阅读10页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种DFB激光器外延片制造方法，该方法先在一次外延片上使用原子层沉积设备沉积一层极薄且致密的氧化薄膜，利用此作为非光栅区蚀刻的掩膜，采用全息工艺制作非对称光栅。该方法可以有效的抑制了激光器的空间烧孔效应，提升DBF激光器的边模抑制比，优化其光谱模式，提高了DFB激光器的产品良率，制造成本低；该制造方法采用薄的氧化薄膜作掩膜，制造非对称相移光栅，相对于传统的EBL光栅，或其它光栅制造方法，方法简单，成本低，效率高；该方法也提供一种光栅湿法刻蚀的方法，避免了传统在制备非对称光栅时，不同区

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112636169 A (43)申请公布日 2021.04.09 (21)申请号 202011534940.0 C23C 16/30 (2006.01)

您可能关注的文档

文档评论（0）

知识产权出版社 + 关注: 官方认证

文档贡献者

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

咨询Ta 进入空间

认证主体北京中献电子技术开发有限公司

IP属地四川

统一社会信用代码/组织机构代码: 91110108102011667U

1亿VIP精品文档

更多 >

一种DFB激光器外延片的制造方法.pdfVIP