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本发明公开了一种光束质量分析仪和激光发射器振镜校准方法。分析仪包括壳体和能将光束分成主光束和待分析光束的分光结构，壳体上沿光路方向依次设有物镜、分光结构和摄像头；壳体上还设有位于分光结构一侧的主光束出光孔。分析校准方法包括从激光发射器射出的光束中抽取光束分量形成待分析光束，照射在基准面的原点并形成光斑；让激光发射器中的振镜扫描一定角度，获得光斑实际移动距离，并计算光斑实际移动距离与光斑理想移动距离的差值。本发明提供的光束质量分析仪和激光发射器振镜校准方法，能快速获得光束的光斑图像，有利于提高对光
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112611450 A
(43)申请公布日 2021.04.06
(21)申请号 202011518397.5
(22)申请日 2020.12.21
(71)申请人 广州安特激光技术有限公司
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