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- 2023-06-03 发布于四川
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本发明公开了一种反应管固定模组与反应炉,反应管固定模组包括反应管、套接件与至少两个柔性支撑件:套接件用于与外部构件连接,套接件套接在反应管的外侧,且与反应管之间具有间隙;柔性支撑件套接在反应管的外侧,位于间隙内且分别与反应管以及套接件接触,各柔性支撑件沿反应管的轴向分布。本发明实施例的反应管固定模组中,套接件通过至少两个沿反应管的轴向分布的柔性支撑件支撑反应管,可以避免反应管与硬质的套接件直接接触而发生破裂,至少两个柔性支撑件能够提供多个支撑位置,从而均衡反应管的受力,减少反应管支撑位置的压强,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112648490 A
(43)申请公布日 2021.04.13
(21)申请号 202011527301.1 H01L 21/67 (2006.01)
(22)申请日 2
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