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一种含光酸产生剂的光刻胶树脂单体及其合成方法.pdfVIP

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  • 2023-06-03 发布于四川
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一种含光酸产生剂的光刻胶树脂单体及其合成方法.pdf

    本发明公开了一种含光酸产生剂的光刻胶树脂单体，涉及光刻胶领域，树脂单体的结构式如下所示：其中R1为氟代烷烃或含氧原子的氟代烷烃，R2、R3、R4各自独立的为氢或者烷基,R5为H或者甲基。该树脂单体改善光刻图形的边缘粗糙度，提高分辨率，提高了曝光区和非曝光区的在显影液的溶解速度差，耐刻蚀，脂溶性好，方便旋涂均匀。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112645923 A (43)申请公布日 2021.04.13 (21)申请号 202011541793.X (22)申请日 2020.12.23 (71)申请人 上海博栋化学科技有限公司

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