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- 2023-06-03 发布于四川
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本发明公开了一种由长春布宁合成的磺酸锍盐类光产酸剂，涉及光产酸剂领域，结构式为：其中，R为氟代烷基，且R中的部分亚甲基可以被醚、酯基、碳酸酯、羰基这类含氧基团取代。本发明的光产酸剂能够降低了光产酸剂的扩散，有利于改善边缘粗糙度，减小线宽粗糙度，提高分辨率；亲水亲油平衡，树脂与光产酸剂在溶剂中混合更加均匀，有利于形成更加均匀的光刻胶；具有优良的耐刻蚀性能；在193nm波长下透明度高，有利于193nm波长下的曝光；合成路线简单。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112645951 A
(43)申请公布日 2021.04.13
(21)申请号 202011541807.8
(22)申请日 2020.12.23
(71)申请人 上海博栋化学科技有限公司
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