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一种改善浸没流场压力特性的浸液供给回收装置.pdfVIP

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  • 2023-06-03 发布于四川
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一种改善浸没流场压力特性的浸液供给回收装置.pdf

    本发明涉及一种改善浸没流场压力特性的浸液供给回收装置。本发明具有环绕物镜侧面的环绕面，环绕面与物镜侧面形成间隙，于环绕面的水平截面上相对的两端设置浸液供给开口和浸液抽排开口；在环绕面的至少一个水平截面上，环绕面与物镜侧面之间的宽度沿周向变化。本发明环绕面距离物镜侧面的宽度在周向上是变化的，使所述环绕面距离物镜侧面在衬底运动方向的两端比其他周向位置更远，从而使浸液供给回收装置与末端物镜之间的局部间隙容积增加，使得浸没液体局部堆积或减少时引起顶部液面的升降高度减小，实现抑制浸没流场压力波动和顶部液面

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112650028 A (43)申请公布日 2021.04.13 (21)申请号 202011561135.7 (22)申请日 2020.12.25 (71)申请人 浙江启尔机电技术有限公司

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