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本发明提供一种光致抗蚀剂料片缺陷检测系统及其方法。处理单元接收频宽范围相应的中心波长，并依据中心波长数据决定可调光束的中心波长，以使可调光束的中心波长不同于频宽范围相应的中心波长。可调波长光源装置依据中心波长发出可调光束，光致抗蚀剂料片位于可调光束的传递路径上。可调光束的第二部分穿透光致抗蚀剂料片后而形成穿透光束。成像镜头位于穿透光束的传递路径上。图像传感器具有图像感测面，穿透光束成像于图像感测面，以产生检测图像。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112630234 A
(43)申请公布日 2021.04.09
(21)申请号 202011039433.X
(22)申请日 2020.09.28
(30)优先权数据
108136366
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