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- 2023-06-03 发布于四川
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为了解决晶振探头内的晶振片被反复的污染而容易出现晶振频率不稳定的问题，导致晶振探头无法对靶材蒸发量进行准确的检测，致使基片的镀膜厚度不均匀的问题，本发明提出一种磁流体一体式晶振挡板切换机构，通过气缸带动磁流体旋转，磁流体旋转带动遮板的旋转，使得遮板上的遮片位于其中一个不使用的晶振片的检测孔的正下方，降低晶振片反复污的次数，当使用的晶振片的检测孔反复污染后，遮片旋转位于该被污染的晶振片的检测孔正下端，使用没被污染的检测孔，降低了晶振片的更换效率，同时遮板被污染后由于与磁流体可拆卸连接，方便更换，使
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112634980 A
(43)申请公布日 2021.04.09
(21)申请号 202011618387.9
(22)申请日 2020.12.31
(71)申请人 苏州佑伦真空设备科技有限公司
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