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- 2023-06-04 发布于四川
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本发明公开了一种太阳能电池片槽式工艺装置及喷淋清洗方法，包括按照工艺顺序排列的多个化学槽，以及设置在所述化学槽上方用于花篮提拉的提升臂，对应所述化学槽还设置有至少一根喷淋管，所述喷淋管上至少开设有一排对应花篮的喷水孔，以用于在所述提升臂提起所述花篮的同时对花篮内的硅片用纯水进行喷淋清洗。本发明在化学槽内经过清洗的硅片随花篮被提起时，打开上述的喷淋管形成喷淋区，花篮在由下往上被提起时经过该喷淋区，喷淋管喷淋出的纯水对花篮及硅片的各个位置进行清洗，以达到更加全面的清洗效果，喷淋后花篮及硅片表面上的化
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112701185 B
(45)授权公告日 2023.04.14
(21)申请号 202011491049.3 H01L 21/02 (2006.01)
(22)申请日 2020.12
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