原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及一种大功率低频间歇超声辅助电铸系统及方法，属精密器件加工技术领域。通过在电铸过程中施加大功率低频间歇超声，解决由于让光刻胶一直处于大功率超声波作用下而导致的变形，同时避免连续超声对沉积层表面的侵蚀破坏。在继电器Ton时，超声换能器和电源同时工作，溶液中的金属阳离子在电场力和超声波的作用下，快速地沉积在光刻胶阴极表面，同时光刻胶阴极表面上产生的氢气泡可以快速离开表面；在继电器Toff时，超声换能器停止工作，电源继续工作。光刻胶阴极表面上无超声辅助作用，溶液中的金属阳离子仅在电场力的作用下
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112695349 B
(45)授权公告日 2022.04.22
(21)申请号 202011353886.X (56)对比文件
文档评论（0）