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一种金刚烷结构的光刻胶树脂单体及其合成方法.pdfVIP

一种金刚烷结构的光刻胶树脂单体及其合成方法.pdf

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    本发明公开了一种金刚烷结构的光刻胶树脂单体，涉及光刻胶树脂领域。树脂单体的结构式如下所示：其中R1和R2各自独立的为1～10个碳原子的烷烃，且R1和R2可通过共价键结合形成环状结构；R3为氢或者甲基。该树脂单体含有金刚烷结构，具有优良的抗刻蚀性能；优异的抗溶胀性能，提高了光刻图形的分辨率，抑制T‑top的产生；在193nm下具有很高的透明度，特别适用于193nm下的光刻操作。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112679462 A (43)申请公布日 2021.04.20 (21)申请号 202011541790.6 (22)申请日 2020.12.23 (71)申请人 上海博栋化学科技有限公司

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