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一种椭偏测量校正方法及装置.pdfVIP

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  • 2023-06-04 发布于四川
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一种椭偏测量校正方法及装置.pdf

    本发明公开了一种椭偏测量校正方法，在椭偏测量中，当光学元件的出射光具有部分偏振和/或窄椭偏特征时，对拟合得到的傅里叶系数αf和βf进行校正，获得校正后的αm和βm。该光学元件包括起偏器或检偏器。当本发明校正方法用于半导体晶圆膜厚检测时，可以获得更准确的光谱型椭偏仪拟合计算的傅里叶系数α和β曲线，尤其是在紫外波段。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116203805 A (43)申请公布日 2023.06.02 (21)申请号 202310057477.2 (22)申请日 2023.01.20 (71)申请人 睿励科学仪器（上海）有限公司 地址

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