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- 2023-06-04 发布于四川
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本发明涉及一种制备氟气和含氟混合气的装置及方法，属于氟气和含氟混合气制备技术领域。所述装置包括无水氟化氢储存钢瓶、连接管道、电解槽、微粒过滤器、一级冷凝器、二级冷凝器、气体混配器、配气储存瓶、充装压缩机、气体储罐、吸附塔和控制系统。在电解槽电解无水氟化氢生成氟气和氢气；进入微粒过滤器过滤；经过两级冷凝液化除杂；气体进入吸附塔，通过氟化钠化学吸附除去大部分气相氟化氢，获得纯度达到99.9％以上的高纯氟气；如需制备含氟混合气，使配气进入气体混配器中与所述高纯氟气混合得到含氟混合气。所述装置及方法制得
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112695338 A
(43)申请公布日 2021.04.23
(21)申请号 202011536388.9 C25B 15/00 (2006.01)
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