原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种等离子体精准能量控制保护系统，包括AD/DC模块、DC控制模块和等离子体能量输出模块，还包括串联在DC控制模块和等离子体能量输出模块之间的开关电路；所述等离子体能量输出模块中，能量调控电路：用于动态地电流取样以检测阻抗值，然后直接反馈到第二驱动控制电路；当其检测到的阻抗值低于等离子体的激发阻抗值时进行能量调控，使阻抗匹配及输出电路的输出能量减小；并联式短路检测电路：用于并联式短路检测，然后将所得短路检测信号发送给开关电路进行短路判断，以实现开关电路的通断。本发明采用直接反馈机制和
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112701935 A
(43)申请公布日
2021.04.23
(21)申请号 20191
文档评论（0）