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一种缺陷检测装置及方法.pdfVIP

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  • 2023-06-04 发布于四川
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一种缺陷检测装置及方法.pdf

    本发明提供一种缺陷检测装置及方法，缺陷检测装置包括暗场照明光源、成像镜头、全斯托克斯偏振积分相机、运动台和控制单元，暗场照明光源用于提供线偏振光束，运动台用于承载待测样品；线偏振光束倾斜投射至待测样品上，被待测样品反射以及散射后形成为信号光束，信号光束经过成像镜头后投射至全斯托克斯偏振积分相机；控制单元驱动运动台运动，使全斯托克斯偏振积分相机完成对待测样品的扫描拍摄以同时形成全斯托克斯偏振图片，并通过对全斯托克斯偏振图片的数据处理，滤除数据中镜面反光信号后进行缺陷检测，获取待测样品的缺陷信息；本

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112697800 B (45)授权公告日 2022.08.26 (21)申请号 202011450397.6 审查员 龚子涵 (22)申请日 2020.12.09

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