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本发明提供晶圆研磨用头，能提高晶圆研磨装置的生产性且实现研磨步骤的高效化。晶圆研磨装置(1)包括：卡盘机构，具备弹性体形成的橡胶卡盘(10)和刚体形成的刚体卡盘(11)；第一压力调整机构(23)，能向橡胶卡盘(10)附近供给空气；以及第二压力调整机构(24)，能向刚体卡盘(11)附近供给空气。晶圆研磨装置(1)通过切换第一压力调整机构的空气供给和第二压力调整机构的空气供给，而能切换加工方法。由此，能获得兼备橡胶卡盘方式的卡盘机构和刚体卡盘方式的卡盘机构这两个功能的晶圆研磨用头。因此，无需设置两个
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112658978 A
(43)申请公布日
2021.04.16
(21)申请号 20191
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