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本发明涉及半导体封装技术领域,公开了一种晶圆级封装工艺及晶圆级封装结构。晶圆包括基板,基板上呈矩阵分布有多个功能区,每个功能区周围设置有焊垫,晶圆级封装工艺包括步骤:在覆盖板上制作支撑围堰,以形成呈矩阵分布的多个凹槽,支撑围堰包括用于围成凹槽的棱边,棱边的内侧端部凹设有锯齿段;通过丝网印刷工艺在支撑围堰上涂覆键合胶;将覆盖板及涂覆有键合胶的支撑围堰键合于晶圆上,支撑围堰通过键合胶与焊垫处紧密结合,功能区容纳于凹槽内。本发明的晶圆级封装工艺,不易污染功能区、封装效果好、成品率高。本发明晶圆级封装结
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112670192 A
(43)申请公布日 2021.04.16
(21)申请号 202011565608.0
(22)申请日 2020.12.25
(71)申请人 苏州科阳半导体有限公司
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