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2023-06-04 发布于四川
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基板搬运机器人以及靶体的边缘位置示教方法.pdf

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本发明的靶体的边缘位置示教方法包含：光电传感器的光轴向规定的初始位置移动，该规定的初始位置规定在比以主面成为水平的姿势设置的靶体的边缘靠外侧、且比靶体靠上方或下方的位置；直到由光电传感器检测到靶体的边缘位置，反复进行光轴的规定的前进循环；以及基于在由光电传感器检测到靶体的边缘时的基板搬运机器人的姿势，求出靶体的边缘的被检测点的位置，并存储该位置。移动循环包含：通过靶体的高度位面进行上升或下降、向朝向靶体的水平的扫描方向前进第一移动量、通过靶体的高度位面进行下降或上升、以及向扫描方向前进第一移动量

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112673463 A (43)申请公布日 2021.04.16 (21)申请号 201980059035.3 (74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限

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