谐振子以及谐振装置.pdfVIP

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2023-06-04 发布于四川
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谐振子以及谐振装置.pdf

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本发明涉及谐振子以及谐振装置。谐振子(10)具备：振动部(110)，具有压电膜(F3)以及中间夹着压电膜(F3)而对置设置的上部电极(E2)及下部电极(E1)；以及质量附加部(122A)，至少设置于振动部(110)中的位移相对较大的位置，质量附加部(122A～D)具有以在剖视振动部(110)时中央部至少比任意的端部薄的方式倾斜的倾斜面。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112703672 A (43)申请公布日 2021.04.23 (21)申请号 201980059131.8 (74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限