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- 2023-06-04 发布于四川
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本发明涉及一种带槽式变栅距光栅位移传感器,准直光学系统和Y型光纤,准直光学系统设置在传感器内,Y型光纤穿入所述传感器与准直光学系统一侧相对,传感器外壳内设置有槽,槽滑动设置有导轨,滑块通过连接轴滑动设置在导轨上,滑动内侧设置有与准直光学系统另一侧相对的反射镜,传感器内部底端设置有与反射镜相对的变栅距光栅。本发明的有益效果是提供一种抗电磁干扰的位移传感器领域,采用带槽式的导轨,首先在传感器放置导轨的位置挖好槽,挖槽时用高精度机床操作,以确保槽的深度满足正好放置导轨。槽跟导轨配合,并用螺钉固定,确保
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112697046 A
(43)申请公布日 2021.04.23
(21)申请号 202011411743.X
(22)申请日 2020.12.04
(71)申请人 北京信息科技大学
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