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本发明属于光刻胶树脂单体，公开了一种由5‑(羟甲基)‑1,3‑环己二酮合成的树脂单体，树脂单体的结构式如下：其中R1为连接键、烃基或杂烃基，R2为烃基；R3为氢原子、烃基或杂烃基。其制备方法为，5‑(羟甲基)‑1,3‑环己二酮Ⅰ与甲基丙烯酰氯或甲基丙烯酸类化合物经酯化反应得到中间体Ⅱ；所述中间体Ⅱ在酸催化条件下与羟基羧酸类化合物经缩醛反应得到树脂单体Ⅲ。本发明的中半缩醛结构与酯基结构相连，使形成的光刻胶具有良好临界尺寸均一性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112661769 B
(45)授权公告日 2022.06.28
(21)申请号 202011548669.6 G03F 7/027 (2006.01)
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