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用于利用等离子体的工件加工的系统.pdfVIP

用于利用等离子体的工件加工的系统.pdf

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    描述了包括工件保持器组件的热隔离的、用于利用等离子体加工工件的系统、方法和设备。设备包括以下腔室，该腔室至少部分地限定用于生成等离子体的加工空间。该设备包括基部组件，该基部组件至少部分地限定腔室的下端并且具有内周边，该内周边限定基部组件中的开口。该设备进一步包括工件保持器组件，该工件保持器组件至少部分地位于开口内。工件保持器组件包括一个或多个加热元件和本体，该本体具有被构造成接收工件的上表面。在基部组件的内周边和本体的外周边之间限定了间隙。间隙被构造成将基部组件与本体热隔离。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112673450 A (43)申请公布日 2021.04.16 (21)申请号 201980051030.6 (74)专利代理机构 中原信达知识产权代理有限

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