一种质谱仪器极片清洗装置及清洗质谱仪器极片的方法.pdfVIP

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2023-06-04 发布于四川
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一种质谱仪器极片清洗装置及清洗质谱仪器极片的方法.pdf

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本发明提供了一种质谱仪器极片清洗装置，包括微波组件和矩管；所述矩管包括由内向外嵌套设置的内管、中管和外管；所述中管一端的管壁上设有开口；所述微波组件包括电连接的固态微波源和耦合环；所述固态微波源设置于矩管外；所述耦合环设置于所述中管上的开口处。本发明提供的质谱仪器极片清洗装置在使用时在中管和内管中通入放电气体，利用固态微波源驱动微波放电，通过耦合环将微波能传输至中管，中管的放电气体点燃等离子体，与内管的放电气体在矩管的管口形成等离子炬焰，形成的等离子炬焰在极片外部进行烧蚀，利用高温使极片上沉积的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112676270 B (45)授权公告日 2022.02.08 (21)申请号 202011548548.1 (22)申请日 2020.12.24 (65)同一申请的

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