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一种光掩模固持系统包括一内盒及一外盒。内盒包含一内基座、一内盖、及一压销。所述内基座组配来接收一工件。内盖组配来耦合所述内基座,从而形成一用以收容所述工件的内部。压销可移动地穿设于所述内盖,且组配来按压所接收的工件。外盒包含一外基座、一外盖、及一推动件。外基座组配来接收所述内基座。外盖组配来耦合外基座。推动件设置于外盖。压销、外盖、及推动件具有电荷消散性质。当外盖耦合至外基座,推动件组配来推动压销来按压所述工件并且建立一个从所述工件,通过压销及推动件,到外盖的电荷消散路径。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112670219 A
(43)申请公布日
2021.04.16
(21)申请号 20201
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