原创力文档- 1
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- 2023-06-04 发布于四川
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本发明公开了一种用于损伤前驱体原位测量的高精度二维位姿调整装置，包括底座和设于底座上的多个二维运动平台(1)，所述二维运动平台(1)上设有可控磁场发生器(2)，所述可控磁场发生器(2)上吸附有一个用于夹持被测光学元件的夹具(3)。本发明能够通过使光学元件每次重复测试时都保持在同一位置达到原位测试效果，结构小巧轻便，基本不会对光学元件的其它检测或处理过程造成影响。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112697979 A
(43)申请公布日 2021.04.23
(21)申请号 202011568108.2
(22)申请日 2020.12.25
(71)申请人 中国人民解放军国防科技大学
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