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一种薄膜发电机及其制作方法.pdfVIP

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  • 2023-06-04 发布于四川
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一种薄膜发电机及其制作方法.pdf

    本申请公开了薄膜发电机及其制作方法，该方法包括在基底的第一表面形成预处理压电层；在预处理压电层与基底相背的表面形成第一电极层，并在摩擦层的第一表面形成第二电极层；将带有预处理压电层和第一电极层的基底置于高压电场环境中进行极化，以使预处理压电层形成压电层；利用粘合剂将摩擦层的第二表面的边缘区域与基底的第二表面的边缘区域进行粘接，以在摩擦层和基底除去边缘区域的区域间形成空腔，得到薄膜发电机；基底的第一表面与基底的第二表面相背，摩擦层的第一表面与摩擦层第二表面相背。本申请中基底的两侧分布有压电层和摩擦

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112701953 A (43)申请公布日 2021.04.23 (21)申请号 202011492763.4 (22)申请日 2020.12.16 (71)申请人 昆山微电子技术研究院

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