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2023-06-04 发布于四川
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一种用于MPCVD装置的温度检测控制系统和方法.pdf

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本发明涉及一种用于MPCVD装置的温度检测控制系统和方法，包括温度检测单元和温度控制单元，所述的温度检测单元包括交互模块、报警处理模块和检测模块，所述的检测模块包括K型热电偶，所述的报警处理模块包括单片机，所述的K型热电偶与微波电源连接，所述的单片机分别与K型热电偶、交互模块和温度控制单元连接；K型热电偶检测微波电源中金刚石合成过程的实时温度，交互模块输入设定温度并显示实时温度和设定温度，报警处理模块获取实时温度和设定温度，判断是否超出设定温度的误差范围，并通过温度控制单元根据报警处理模块的控制

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112684829 A (43)申请公布日 2021.04.20 (21)申请号 202011530870.1 (22)申请日 2020.12.22 (71)申请人同济大学地址 20

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