光电导测量仪
测试局部
名称:WCT 光电导测量工具
仪器包含局部:个人计算机、少子寿命测试台、电池组 Qpaq-X 的电源
碘酒钝化
原始硅片去除损伤层,并按生产线方式清洗或在通风橱中按RCA2〔纯水 H2O:H2O2: HCl=5:1:1,沸腾后保持 6 分钟,纯水冲洗 10 分钟〕-RCA1〔纯水 H2O:H2O2:NH4OH=5:
1:1,沸腾后保持 6 分钟,纯水冲洗 6 分钟〕-RCA2〔纯水 H2O:H2O2:HCl=5:1:1,
沸腾后保持 6 分钟,纯水冲洗 6 分钟〕清洗;
在通风橱中用纯水 H2O:HF=10:1 的溶液浸泡清洗好的硅片 1 分钟,纯水冲洗10 分钟;
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