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电子器件和制造其的方法和系统.pdfVIP

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  • 2023-06-04 发布于四川
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电子器件和制造其的方法和系统.pdf

    提供了电子器件和制造其的方法和系统。该电子器件包括电介质层，该电介质层包括具有被对准的晶向的晶粒，该电介质层可以在基板和栅电极之间。电介质层可以在隔开的第一电极和第二电极之间。制造电子器件的方法可以包括：准备具有沟道层的基板；在沟道层上形成电介质层；以及在电介质层上形成栅电极。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112701157 A (43)申请公布日 2021.04.23 (21)申请号 202011095367.8 H01L 21/336 (2006.01) (22)申请日

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