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2023-06-04 发布于四川
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一种热炉降温结构.pdf

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本发明公开了一种热炉降温结构,包括石英管和防护隔层，防护隔层与石英管外壁形成防护夹层，防护夹层连通有导入管和导出管，导入管、防护夹层以及导出管形成冷却通道，导入管和导出管控制冷却介质的导入和导出，冷却介质在冷却通道的流通降低硅片的温度，本发明将硅片热量辐射传导防护夹层并通过冷却介质传到炉体，相比于自然冷却方式，冷却速度提升5‑10倍，提高冷却速度，本发明将导入管、防护夹层以及导出管形成冷却通道，避免压缩空气对炉膛和电炉丝直吹，提高了使用寿命。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112665388 A (43)申请公布日 2021.04.16 (21)申请号 202011410605.X (22)申请日 2020.12.04 (71)申请人深圳市拉普拉斯能源技术有限公司

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