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一种玻璃微粒沉积体的制造方法，具有：从燃烧器的中心喷出硅氧烷气体和载气，从硅氧烷气体和载气的出射口的径向外侧喷出密封气体，并且从密封气体的出射口的径向外侧喷出燃烧气体，将硅氧烷气体的每单位时间的供给体积量相对于硅氧烷气体的每单位时间的供给体积量和载气的每单位时间的供给体积量的总和的体积浓度(C1)设为10.6体积％＜C1＜20.0体积％，将硅氧烷气体的每单位时间的供给体积量相对于硅氧烷气体的每单位时间的供给体积量、载气的每单位时间的供给体积量以及密封气体的每单位时间的供给体积量的总和的体积浓度(
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112689616 A
(43)申请公布日 2021.04.20
(21)申请号 201980059813.9 (74)专利代理机构 北京天昊联合知识产权代理
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