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一种整体不可扭型太赫兹软波导结构及其制备方法.pdfVIP

一种整体不可扭型太赫兹软波导结构及其制备方法.pdf

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    本发明提供一种整体不可扭型太赫兹软波导结构及其制备方法，属于软波导加工技术领域。本发明提供的太赫兹软波导结构其核心部件金属管具有螺旋梯形凹槽，使得软波导具有良好的电气性能和弯曲性，对太赫兹电磁波能够进行有效的传输。本发明采用具有同心结构的金属作为牺牲模，通过机械加工过程获得软波导所需基础结构模板，并提出了缠绕金属丝防止压型过程中基础螺旋形结构的变形，去除金属丝后沉积功能层和防腐层，最后溶解牺牲芯模来制作软波导，降低了器件的加工难度；整体成型方法操作简单，成本低，易于工业化生产。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112670692 B (45)授权公告日 2022.01.25 (21)申请号 202011430604.1 (51)Int.Cl.

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