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本申请涉及发光二极管领域,具体公开一种发光二极管及其制造方法,该方法包括:提供一衬底;在第一生长温度下,对衬底进行高温处理;对衬底不进行降温处理,且在第一生长温度下在衬底上生长缓冲层;在第二生长温度下,在缓冲层远离衬底的一侧生长第一半导体层;在第三生长温度下,在第一半导体层远离缓冲层的一侧生长有源发光层;在有源发光层远离第一半导体层的一侧生长电子阻挡层;在电子阻挡层远离有源发光层的一侧生长第二半导体层。通过上述方式,缩短了发光二极管的制造周期,降低了生产成本,提高了生产效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112670378 A
(43)申请公布日 2021.04.16
(21)申请号 202011626521.X
(22)申请日 2020.12.31
(71)申请人 深圳第三代半导体研究院
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