原创力文档- 1、本文档共11页，其中可免费阅读10页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供了一种小型手动探针台，属于器件测试技术领域，包括底板、载片台、XYZ三轴位移台、显微镜滑台、Z向调整杆以及显微镜；载片台设有真空腔和与真空腔连通的吸附孔；XYZ三轴位移台滑动设于底板上，用于连接并精调探针的位置；XYZ三轴位移台为两组，左右对称设于载片台的两侧；XYZ三轴位移台借助X向直线导轨粗调到载片台的位移；显微镜滑台滑动设于底板上；Z向调整杆固定于显微镜滑台上，用于安装显微镜并精调显微镜的Z向位移；显微镜安装于Z向调整杆上。本发明提供的小型手动探针台，结构简单，使用方便，制作成本
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112684222 A
(43)申请公布日 2021.04.20
(21)申请号 202011496755.7
(22)申请日 2020.12.17
(71)申请人 中国电子科技集团公司第十三研究
您可能关注的文档
- 一种螺栓紧固件加工用运输装置.pdf
- 智能存储装置和智能仓储系统.pdf
- 一种提高挖掘机装车时回转速度的系统及控制方法.pdf
- 一种基于融合业务拓扑的电力计量全链路关键业务异常定位模型构建方法.pdf
- 考虑不确定性风电消纳和故障恢复的输电网结构优化方法.pdf
- 一种开关电源电路.pdf
- 自举型半桥驱动器共模电压变化率耐受测试装置及方法.pdf
- 一种外科用手术创伤消毒清洗装置.pdf
- 一种混凝土管桩制料灌注装置.pdf
- 一种道路龙门架及其施工方法.pdf
- 2024年江西省高考政治试卷真题（含答案逐题解析）.pdf
- 2025年四川省新高考八省适应性联考模拟演练（二）物理试卷（含答案详解）.pdf
- 2025年四川省新高考八省适应性联考模拟演练（二）地理试卷（含答案详解）.pdf
- 2024年内蒙通辽市中考化学试卷（含答案逐题解析）.docx
- 2024年四川省攀枝花市中考化学试卷真题（含答案详解）.docx
- （一模）长春市2025届高三质量监测（一）化学试卷（含答案）.pdf
- 2024年安徽省高考政治试卷（含答案逐题解析）.pdf
- （一模）长春市2025届高三质量监测（一）生物试卷（含答案）.pdf
- 2024年湖南省高考政治试卷真题（含答案逐题解析）.docx
- 2024年安徽省高考政治试卷（含答案逐题解析）.docx
文档评论（0）